heidenhain敞开式光栅尺@德国海德汉一级经销
敞开式光栅尺是专门为机械和那些特别需要高精度测量值的装置设计的。
典型应用包括:
· 半导体行业的测量和生产设备
· 印刷电路版装配机械
· 超精密机械
· 高精度机床
· 计量机和比较仪、测量显微镜和其它精密测量装置
· 直接驱动
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heidenhain敞开式光栅尺@德国海德汉一级经销
敞开式直线光栅尺 结构类型 |
系列
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主要特点 |
精度等级 |
测量长度 |
LIP 300 |
- 于超高精度测量
- 玻璃陶瓷或玻璃光栅尺
- 干涉扫描,信号周期小
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± 0.5 µm |
70 至 270 mm |
LIP 400 |
- 于超高精度测量
- 玻璃陶瓷或玻璃光栅尺
- 干涉扫描,信号周期小
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± 1 µm |
70 至 420 mm |
LIP 500 |
- 于超高精度测量
- 玻璃陶瓷或玻璃光栅尺
- 干涉扫描,信号周期小
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± 3 µm
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70 至 1440 mm |
LIF |
- 于超高精度测量
- 带PRECIMET粘膜胶带
- 干涉扫描,信号周期小
- 限位开关和回零轨
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± 3 µm |
70 至 1020 mm |
LIDA 200 |
- 用于高速运动和大长度测量
- 钢带光栅尺穿入在铝壳中或粘贴在安装面中
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± 30 µm |
至 10 000 mm |
LIDA 400 |
- f用于高速运动和大长度测量
- 钢带光栅尺穿入在铝壳中或粘贴在安装面中
- 限位开关
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± 5 µm
± 15 µm |
140 至 30 040 mm
240 至 6040 mm |
LIDA 500 |
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± 5 µm |
70 至 1020 mm
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PP |
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± 2 µm |
68 mm x 68 mm |
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